As chất bán dẫnvà công nghệ vi điện tử phát triển theo hướng hiệu suất cao hơn và tích hợp cao hơn, yêu cầu cao hơn được đặt ra đối với độ tinh khiết của khí điện tử đặc biệt. Công nghệ đường ống khí có độ tinh khiết cao là một phần quan trọng của hệ thống cung cấp khí có độ tinh khiết cao. Đây là công nghệ chính để cung cấp khí có độ tinh khiết cao đáp ứng các yêu cầu đến các điểm sử dụng khí trong khi vẫn duy trì chất lượng đủ tiêu chuẩn.
Công nghệ đường ống có độ tinh khiết cao bao gồm thiết kế hệ thống chính xác, lựa chọn phụ kiện đường ống và vật liệu phụ trợ, thi công, lắp đặt và thử nghiệm.
01Khái niệm chung về đường ống dẫn khí
Tất cả các loại khí có độ tinh khiết cao và độ sạch cao đều cần được vận chuyển đến điểm khí đầu cuối thông qua đường ống. Để đáp ứng các yêu cầu về chất lượng quy trình đối với khí, khi chỉ số xuất khí chắc chắn, cần chú ý hơn đến việc lựa chọn vật liệu và chất lượng thi công của hệ thống đường ống. Ngoài độ chính xác của thiết bị sản xuất hoặc tinh chế khí, nó còn bị ảnh hưởng phần lớn bởi nhiều yếu tố của hệ thống đường ống. Do đó, việc lựa chọn đường ống cần tuân thủ các nguyên tắc của ngành tinh chế có liên quan và đánh dấu vật liệu của đường ống trong bản vẽ.
02Tầm quan trọng của đường ống có độ tinh khiết cao trong vận chuyển khí
Ý nghĩa của đường ống có độ tinh khiết cao trong vận chuyển khí có độ tinh khiết cao Trong quá trình luyện thép không gỉ, mỗi tấn có thể hấp thụ khoảng 200g khí. Sau khi thép không gỉ được xử lý, không chỉ các chất ô nhiễm khác nhau bám trên bề mặt của nó, mà còn có một lượng khí nhất định được hấp thụ trong mạng lưới kim loại của nó. Khi có luồng không khí đi qua đường ống, một phần khí được kim loại hấp thụ sẽ quay trở lại luồng không khí và làm ô nhiễm khí tinh khiết.
Khi luồng khí trong ống không liên tục, ống sẽ tạo ra sự hấp phụ áp suất đối với khí đi qua. Khi luồng khí dừng lại, khí được hấp phụ bởi ống sẽ tạo thành phân tích giảm áp suất và khí được phân tích cũng đi vào khí tinh khiết trong ống dưới dạng tạp chất.
Đồng thời, chu trình hấp phụ và phân tích sẽ khiến kim loại trên bề mặt bên trong của ống tạo ra một lượng bột nhất định. Các hạt bụi kim loại này cũng làm ô nhiễm khí tinh khiết trong ống. Đặc điểm này của ống rất quan trọng. Để đảm bảo độ tinh khiết của khí được vận chuyển, không chỉ yêu cầu bề mặt bên trong của ống phải có độ nhẵn cực cao mà còn phải có khả năng chống mài mòn cao.
Khi khí có tính ăn mòn mạnh, phải sử dụng ống thép không gỉ chống ăn mòn để làm đường ống. Nếu không, các điểm ăn mòn sẽ xuất hiện trên bề mặt bên trong của ống do bị ăn mòn. Trong trường hợp nghiêm trọng, các mảnh kim loại lớn sẽ bong ra hoặc thậm chí thủng, do đó làm ô nhiễm khí nguyên chất đang được vận chuyển.
03Vật liệu ống
Việc lựa chọn vật liệu của ống cần phải được lựa chọn theo nhu cầu sử dụng. Chất lượng của ống thường được đo theo độ nhám của bề mặt bên trong của ống. Độ nhám càng thấp thì khả năng mang theo các hạt càng ít. Nói chung được chia thành ba loại:
Một làỐng EP cấp 316L, đã được đánh bóng điện phân (Electro-Polish). Nó có khả năng chống ăn mòn và có độ nhám bề mặt thấp. Rmax (chiều cao từ đỉnh đến thung lũng tối đa) khoảng 0,3μm hoặc thấp hơn. Nó có độ phẳng cao nhất và không dễ hình thành dòng điện xoáy nhỏ. Loại bỏ các hạt bị ô nhiễm. Khí phản ứng được sử dụng trong quy trình này phải được dẫn qua đường ống ở mức này.
Một là mộtCấp BA 316Lống, đã được xử lý bằng Bright Anneal và thường được sử dụng cho các loại khí tiếp xúc với chip nhưng không tham gia vào phản ứng quy trình, chẳng hạn như GN2 và CDA. Một là ống AP (Ủ & Nhặt), không được xử lý đặc biệt và thường được sử dụng cho các bộ ống ngoài đôi không được sử dụng làm đường cung cấp khí.
04 Thi công đường ống
Gia công miệng ống là một trong những điểm then chốt của công nghệ thi công này. Việc cắt và chế tạo trước ống được thực hiện trong môi trường sạch sẽ, đồng thời đảm bảo không có vết bẩn hoặc hư hỏng có hại trên bề mặt ống trước khi cắt. Chuẩn bị xả nitơ trong đường ống trước khi mở đường ống. Về nguyên tắc, hàn được sử dụng để kết nối các đường ống dẫn và phân phối khí có độ tinh khiết cao và độ sạch cao với lưu lượng lớn, nhưng không được phép hàn trực tiếp. Nên sử dụng mối nối vỏ và vật liệu ống được sử dụng phải không có thay đổi về cấu trúc trong quá trình hàn. Nếu vật liệu có hàm lượng cacbon quá cao được hàn, độ thấm khí của bộ phận hàn sẽ khiến khí bên trong và bên ngoài ống thâm nhập vào nhau, phá hủy độ tinh khiết, độ khô và độ sạch của khí vận chuyển, dẫn đến hậu quả nghiêm trọng và ảnh hưởng đến chất lượng sản xuất.
Tóm lại, đối với đường ống dẫn khí có độ tinh khiết cao và khí đặc biệt, phải sử dụng ống thép không gỉ có độ tinh khiết cao được xử lý đặc biệt, điều này làm cho hệ thống đường ống có độ tinh khiết cao (bao gồm đường ống, phụ kiện đường ống, van, VMB, VMP) đảm nhiệm nhiệm vụ quan trọng trong phân phối khí có độ tinh khiết cao.
Thời gian đăng: 26-11-2024