As chất bán dẫnvà các công nghệ vi điện tử phát triển theo hướng hiệu suất cao hơn và khả năng tích hợp cao hơn, yêu cầu cao hơn về độ tinh khiết của các loại khí điện tử đặc biệt. Công nghệ đường ống khí có độ tinh khiết cao là một phần quan trọng của hệ thống cung cấp khí có độ tinh khiết cao. Đây là công nghệ then chốt để cung cấp khí có độ tinh khiết cao đáp ứng yêu cầu cho các điểm sử dụng khí trong khi vẫn duy trì chất lượng đạt tiêu chuẩn.
Công nghệ đường ống có độ tinh khiết cao bao gồm thiết kế hệ thống chính xác, lựa chọn phụ kiện đường ống và vật liệu phụ trợ, xây dựng, lắp đặt và thử nghiệm.
01Khái niệm chung về đường ống dẫn khí
Tất cả các loại khí có độ tinh khiết cao và độ sạch cao cần được vận chuyển đến điểm khí cuối cùng thông qua đường ống. Để đáp ứng yêu cầu chất lượng quá trình đối với khí, khi chỉ số xuất khí đã chắc chắn, cần chú ý hơn đến việc lựa chọn vật liệu và chất lượng thi công của hệ thống đường ống. Ngoài độ chính xác của thiết bị sản xuất hoặc lọc khí, nó còn bị ảnh hưởng phần lớn bởi nhiều yếu tố của hệ thống đường ống. Do đó, việc lựa chọn đường ống cần tuân thủ các nguyên tắc công nghiệp thanh lọc có liên quan và đánh dấu vật liệu của đường ống trong bản vẽ.
02Tầm quan trọng của đường ống có độ tinh khiết cao trong vận chuyển khí
Tầm quan trọng của đường ống có độ tinh khiết cao trong vận chuyển khí có độ tinh khiết cao Trong quá trình luyện thép không gỉ, mỗi tấn có thể hấp thụ khoảng 200g khí. Sau khi thép không gỉ được xử lý, không chỉ các chất ô nhiễm khác nhau bám trên bề mặt của nó mà còn có một lượng khí nhất định được hấp thụ trong mạng lưới kim loại của nó. Khi có luồng không khí đi qua đường ống, phần khí được kim loại hấp thụ sẽ quay trở lại luồng khí và làm ô nhiễm khí nguyên chất.
Khi luồng không khí trong đường ống không liên tục, đường ống hình thành sự hấp phụ áp suất lên khí đi qua. Khi luồng không khí ngừng đi qua, khí được đường ống hấp phụ tạo thành phân tích giảm áp suất và khí được phân tích cũng đi vào khí nguyên chất trong đường ống dưới dạng tạp chất.
Đồng thời, chu trình hấp phụ và phân tích sẽ làm cho kim loại trên bề mặt bên trong của ống tạo ra một lượng bột nhất định. Hạt bụi kim loại này còn gây ô nhiễm khí nguyên chất trong đường ống. Đặc tính này của đường ống là rất quan trọng. Để đảm bảo độ tinh khiết của khí vận chuyển, không chỉ yêu cầu bề mặt bên trong của ống có độ mịn cực cao mà còn phải có khả năng chống mài mòn cao.
Khi khí có đặc tính ăn mòn mạnh thì phải sử dụng ống thép không gỉ chống ăn mòn để làm đường ống. Nếu không, các vết ăn mòn sẽ xuất hiện trên bề mặt bên trong của ống do ăn mòn. Trong trường hợp nghiêm trọng, những mảnh kim loại lớn sẽ bong ra hoặc thậm chí thủng, do đó làm ô nhiễm khí nguyên chất được vận chuyển.
03Vật liệu ống
Việc lựa chọn vật liệu của đường ống cần phải được lựa chọn theo nhu cầu sử dụng. Chất lượng của đường ống thường được đo bằng độ nhám của bề mặt bên trong của đường ống. Độ nhám càng thấp thì càng ít có khả năng mang các hạt. Thông thường chia làm ba loại:
Một làỐng EP cấp 316L, đã được đánh bóng bằng điện phân (Electro-Polish). Nó có khả năng chống ăn mòn và có độ nhám bề mặt thấp. Rmax (độ cao tối đa đến đáy) là khoảng 0,3μm hoặc ít hơn. Nó có độ phẳng cao nhất và không dễ hình thành dòng điện xoáy vi mô. Loại bỏ các hạt bị ô nhiễm. Khí phản ứng được sử dụng trong quá trình này phải được dẫn vào đường ống ở mức này.
Một là mộtBA lớp 316Lống đã được xử lý bằng Bright Anneal và thường được sử dụng cho các loại khí tiếp xúc với chip nhưng không tham gia vào quá trình phản ứng, chẳng hạn như GN2 và CDA. Một là ống AP (Ủ & Chọn), không được xử lý đặc biệt và thường được sử dụng cho bộ đôi ống bên ngoài không được sử dụng làm đường cấp khí đốt.
04 Thi công đường ống
Việc xử lý miệng ống là một trong những khâu then chốt của công nghệ thi công này. Quá trình cắt và đúc sẵn đường ống được thực hiện trong môi trường sạch sẽ, đồng thời đảm bảo không có dấu hiệu độc hại hoặc hư hỏng trên bề mặt đường ống trước khi cắt. Việc chuẩn bị xả nitơ trong đường ống phải được thực hiện trước khi mở đường ống. Về nguyên tắc, hàn được sử dụng để kết nối các đường ống truyền tải và phân phối khí có độ tinh khiết cao và độ sạch cao với lưu lượng lớn, nhưng không được phép hàn trực tiếp. Nên sử dụng các mối nối vỏ và vật liệu ống được sử dụng phải không có sự thay đổi về cấu trúc trong quá trình hàn. Nếu hàn vật liệu có hàm lượng cacbon quá cao, độ thoáng khí của bộ phận hàn sẽ khiến khí bên trong và bên ngoài ống thẩm thấu vào nhau, phá hủy độ tinh khiết, khô ráo và sạch sẽ của khí vận chuyển, dẫn đến hậu quả nghiêm trọng. và ảnh hưởng đến chất lượng sản xuất.
Tóm lại, đối với đường ống dẫn khí có độ tinh khiết cao và đường ống dẫn khí đặc biệt phải sử dụng ống thép không gỉ có độ tinh khiết cao được xử lý đặc biệt, điều này làm cho hệ thống đường ống có độ tinh khiết cao (bao gồm đường ống, phụ kiện đường ống, van, VMB, VMP) chiếm một diện tích lớn. nhiệm vụ quan trọng trong việc phân phối khí có độ tinh khiết cao.
Thời gian đăng: 26/11/2024