Xây dựng đường ống dẫn khí có độ tinh khiết cao

I. Giới thiệu

Với sự phát triển của đất nước tôichất bán dẫnvà các ngành công nghiệp chế tạo lõi, ứng dụng củađường ống dẫn khí có độ tinh khiết caoViệc sử dụng đường ống dẫn khí tinh khiết cao ngày càng trở nên phổ biến. Các ngành công nghiệp như bán dẫn, điện tử, y tế và thực phẩm đều sử dụng các đường ống dẫn khí tinh khiết cao ở các mức độ khác nhau. Do đó, việc xây dựng các đường ống dẫn khí tinh khiết cao cũng ngày càng trở nên quan trọng đối với chúng ta.

2. Phạm vi áp dụng

Quy trình này chủ yếu phù hợp cho việc lắp đặt và thử nghiệm đường ống dẫn khí trong các nhà máy điện tử và bán dẫn, cũng như hàn các đường ống dẫn khí bằng thép không gỉ thành mỏng. Nó cũng phù hợp cho việc xây dựng các đường ống sạch trong các nhà máy dược phẩm, thực phẩm và các nhà máy khác.

3. Nguyên tắc quy trình

Theo đặc điểm của dự án, việc thi công được chia thành ba bước. Mỗi bước đều phải trải qua các cuộc kiểm tra chất lượng và vệ sinh nghiêm ngặt. Bước đầu tiên là lắp ghép sẵn đường ống. Để đảm bảo yêu cầu về vệ sinh, việc lắp ghép sẵn đường ống thường được thực hiện trong phòng lắp ghép sẵn cấp 1000. Bước thứ hai là lắp đặt tại công trường; bước thứ ba là thử nghiệm hệ thống. Thử nghiệm hệ thống chủ yếu kiểm tra các hạt bụi, điểm sương, hàm lượng oxy và hàm lượng hydrocarbon trong đường ống.

4. Các điểm xây dựng chính

(1) Chuẩn bị trước khi xây dựng

1. Tổ chức nhân công và chuẩn bị máy móc, thiết bị sử dụng trong xây dựng.

2. Xây dựng một phòng lắp ghép sẵn với mức độ sạch sẽ là 1000.

3. Phân tích bản vẽ xây dựng, lập kế hoạch thi công dựa trên đặc điểm dự án và điều kiện thực tế, và thuyết trình kỹ thuật.

(2) Chế tạo sẵn đường ống

1. Do yêu cầu độ sạch cao đối với đường ống dẫn khí tinh khiết, để giảm thiểu khối lượng công việc hàn tại công trường lắp đặt và đảm bảo vệ sinh, việc xây dựng đường ống được thực hiện trước tiên trong phòng lắp ghép sẵn ở tầng 1000. Nhân viên thi công cần mặc quần áo sạch sẽ và sử dụng máy móc, dụng cụ sạch sẽ, đồng thời phải có ý thức vệ sinh cao để giảm thiểu ô nhiễm đường ống trong quá trình thi công.

2. Cắt ống. Việc cắt ống sử dụng dụng cụ cắt ống chuyên dụng. Mặt cắt phải hoàn toàn vuông góc với đường tâm trục của ống. Khi cắt ống, cần có biện pháp để tránh bụi và không khí bên ngoài xâm nhập vào bên trong ống. Vật liệu cần được nhóm lại và đánh số để thuận tiện cho việc hàn nhóm.

3. Hàn ống. Trước khi hàn ống, cần lập trình chương trình hàn và nhập vào máy hàn tự động. Chỉ được phép hàn thử mẫu sau khi mẫu đạt tiêu chuẩn. Sau một ngày hàn, mẫu có thể được hàn lại. Nếu mẫu đạt tiêu chuẩn, các thông số hàn sẽ được giữ nguyên. Các thông số này được lưu trữ trong máy hàn, và máy hàn tự động hoạt động rất ổn định trong quá trình hàn, do đó chất lượng mối hàn cũng đạt tiêu chuẩn. Chất lượng hàn được điều khiển bằng vi tính, giúp giảm thiểu ảnh hưởng của yếu tố con người đến chất lượng hàn, nâng cao hiệu quả công việc và tạo ra các mối hàn chất lượng cao.

4. Quy trình hàn

Xây dựng đường ống dẫn khí có độ tinh khiết cao

(3) Lắp đặt tại chỗ

1. Việc lắp đặt đường ống dẫn khí tinh khiết tại công trường phải được thực hiện gọn gàng, sạch sẽ và người lắp đặt phải đeo găng tay sạch.

2. Khoảng cách lắp đặt của các giá đỡ phải tuân thủ các yêu cầu thiết kế trong bản vẽ, và mỗi điểm cố định phải được bọc bằng một ống bọc cao su đặc biệt dành cho ống EP.

3. Khi vận chuyển các ống đúc sẵn đến công trường, không được va đập hay giẫm lên chúng, cũng không được đặt trực tiếp xuống đất. Sau khi lắp đặt các giá đỡ, các ống phải được cố định ngay lập tức.

4. Các quy trình hàn đường ống tại công trường giống như các quy trình trong giai đoạn lắp ráp sẵn.

5. Sau khi hoàn tất việc hàn và nhân viên có thẩm quyền đã kiểm tra các mẫu mối hàn và các mối hàn trên các đường ống đạt tiêu chuẩn, hãy dán nhãn mối hàn và điền thông tin vào biên bản hàn.

(4) Kiểm tra hệ thống

1. Thử nghiệm hệ thống là bước cuối cùng trong quá trình xây dựng hệ thống khí tinh khiết cao. Bước này được thực hiện sau khi hoàn tất thử nghiệm áp suất đường ống và quá trình làm sạch.

2. Khí dùng để thử nghiệm hệ thống trước hết phải là khí đạt tiêu chuẩn. Độ sạch, hàm lượng oxy, điểm sương và hydrocarbon của khí phải đáp ứng các yêu cầu.

3. Bộ chỉ thị được kiểm tra bằng cách bơm khí đạt tiêu chuẩn vào đường ống và đo áp suất bằng thiết bị tại đầu ra. Nếu khí thoát ra từ đường ống đạt tiêu chuẩn, điều đó có nghĩa là bộ chỉ thị của đường ống đạt tiêu chuẩn.

5. Vật liệu

Các đường ống dẫn khí tinh khiết cao thường sử dụng ống thép không gỉ thành mỏng theo yêu cầu của môi chất tuần hoàn, thường là loại 316L (00Cr17Ni14Mo2). Loại ống này chủ yếu gồm ba nguyên tố hợp kim: crom, niken và molypden. Sự hiện diện của crom giúp cải thiện khả năng chống ăn mòn của thép không gỉ trong môi trường oxy hóa và tạo thành một lớp màng oxit giàu crom; trong khi đó, sự hiện diện của molypden giúp cải thiện khả năng chống ăn mòn của thép không gỉ trong môi trường không oxy hóa. Niken là nguyên tố tạo nên austenit, và sự hiện diện của nó không chỉ cải thiện khả năng chống ăn mòn của thép mà còn cải thiện hiệu suất gia công của thép.