1. Định nghĩa hệ thống khí số lượng lớn:
Lưu trữ và kiểm soát áp suất khí trơ Các loại khí: Các loại khí trơ thông thường (nitơ, argon, khí nén, v.v.)
Kích thước đường ống: Từ 1/4 (đường ống giám sát) đến đường ống chính 12 inch
Các sản phẩm chính của hệ thống bao gồm: van màng/van ống thổi/van bi, đầu nối có độ tinh khiết cao (VCR, dạng hàn), đầu nối ống sắt, van điều chỉnh áp suất, đồng hồ đo áp suất, v.v.
Hiện nay, hệ thống mới còn bao gồm hệ thống khí đặc biệt số lượng lớn, sử dụng bình khí cố định hoặc xe bồn để lưu trữ và vận chuyển.
2. Định nghĩa hệ thống lọc:
Loại bỏ tạp chất khỏi khí số lượng lớn cho đường ống dẫn khí có độ tinh khiết cao
3. Định nghĩa về tủ gas:
Cung cấp dịch vụ kiểm soát áp suất và giám sát lưu lượng cho các nguồn khí đặc biệt (khí độc, dễ cháy, khí phản ứng, khí ăn mòn) và có khả năng thay thế bình khí.
Vị trí: Nằm ở tầng phụ hoặc tầng dưới cùng để lưu trữ các loại khí đặc biệt Nguồn: NF3, SF6, WF6, v.v.
Kích thước đường ống: Đường ống dẫn khí bên trong, thường là 1/4 inch cho đường ống xử lý, 1/4-3/8 inch chủ yếu cho đường ống thanh lọc nitơ có độ tinh khiết cao.
Sản phẩm chính: Van màng có độ tinh khiết cao, van một chiều, đồng hồ đo áp suất, đồng hồ đo áp suất, đầu nối có độ tinh khiết cao (VCR, dạng hàn) Các tủ gas này về cơ bản có khả năng chuyển mạch tự động cho các bình gas để đảm bảo cung cấp khí liên tục và thay thế bình gas an toàn.
4. Định nghĩa phân phối:
Kết nối nguồn khí với cuộn dây thu khí
Kích thước đường ống: Trong nhà máy sản xuất chip, kích thước của đường ống phân phối khí số lượng lớn thường nằm trong khoảng từ 1/2 inch đến 2 inch.
Hình thức kết nối: Đường ống dẫn khí đặc biệt thường được kết nối bằng hàn, không có bất kỳ kết nối cơ học hoặc bộ phận chuyển động nào khác, chủ yếu là do kết nối hàn có độ tin cậy bịt kín cao.
Trong một nhà máy sản xuất chip, có hàng trăm km ống được kết nối để truyền khí, về cơ bản dài khoảng 20 feet và được hàn lại với nhau. Một số ống uốn cong và kết nối hàn ống cũng rất phổ biến.
5. Hộp van đa chức năng (Valve Manifold Box, VMB) Định nghĩa:
Có chức năng phân phối các loại khí đặc biệt từ nguồn khí đến các thiết bị khác nhau.
Kích thước đường ống bên trong: đường ống xử lý 1/4 inch và đường ống xả 1/4 - 3/8 inch. Hệ thống có thể sử dụng điều khiển máy tính để yêu cầu van kích hoạt hoặc các tình huống chi phí thấp hơn với van thủ công.
Sản phẩm hệ thống: van màng/van ống thổi có độ tinh khiết cao, van một chiều, mối nối có độ tinh khiết cao (VCR, dạng hàn siêu nhỏ), van điều chỉnh áp suất, đồng hồ đo áp suất và đồng hồ đo áp suất, v.v. Để phân phối một số khí trơ, chủ yếu sử dụng Bảng phân phối van - VMP (đĩa van đa chức năng), có bề mặt đĩa khí mở và không yêu cầu thiết kế không gian kín và thanh lọc nitơ bổ sung.
6. Tấm/hộp van phụ (Bảng kết nối dụng cụ) Định nghĩa:
Kết nối khí cần thiết cho thiết bị bán dẫn từ nguồn khí đến đầu thiết bị và cung cấp điều chỉnh áp suất tương ứng. Bảng điều khiển này là hệ thống điều khiển khí gần với đầu thiết bị hơn so với VMB (hộp van đa chức năng).
Kích thước đường ống dẫn khí: 1/4 - 3/8 inch
Kích thước đường ống dẫn chất lỏng: 1/2 - 1 inch
Kích thước đường ống xả: 1/2 - 1 inch
Sản phẩm chính: van màng/van ống thổi, van một chiều, van điều chỉnh áp suất, đồng hồ đo áp suất, đồng hồ đo áp suất, mối nối có độ tinh khiết cao (VCR, hàn vi mô), mối nối ferrule, van bi, ống mềm, v.v.
Thời gian đăng: 22-11-2024