1. Định nghĩa hệ thống khí nén số lượng lớn:
Lưu trữ và kiểm soát áp suất khí trơ. Các loại khí: Các khí trơ thông thường (nitơ, argon, khí nén, v.v.)
Kích thước đường ống: Từ 1/4 inch (đường ống giám sát) đến đường ống chính 12 inch.
Các sản phẩm chính của hệ thống bao gồm: van màng/van xếp/van bi, đầu nối độ tinh khiết cao (VCR, dạng hàn), đầu nối ống, van điều chỉnh áp suất, đồng hồ đo áp suất, v.v.
Hiện tại, hệ thống mới cũng bao gồm một hệ thống khí đặc biệt số lượng lớn, sử dụng các bình khí cố định hoặc xe bồn để lưu trữ và vận chuyển.
2. Định nghĩa hệ thống lọc:
Loại bỏ tạp chất khỏi khí khối lượng lớn để sử dụng trong đường ống dẫn khí tinh khiết cao.
3. Định nghĩa về tủ đựng gas:
Cung cấp khả năng điều khiển áp suất và giám sát lưu lượng cho các nguồn khí đặc biệt (khí độc, dễ cháy, phản ứng, ăn mòn), và có khả năng thay thế các bình khí.
Vị trí: Nằm ở tầng hầm hoặc tầng dưới cùng để lưu trữ các loại khí đặc biệt. Nguồn: NF3, SF6, WF6, v.v.
Kích thước đường ống: Đường ống dẫn khí bên trong, thường là 1/4 inch cho đường ống xử lý, 1/4-3/8 inch chủ yếu dùng cho đường ống sục khí nitơ tinh khiết cao.
Sản phẩm chính: Van màng độ tinh khiết cao, van một chiều, đồng hồ đo áp suất, đầu nối độ tinh khiết cao (VCR, dạng hàn). Các tủ khí này về cơ bản đều có khả năng chuyển đổi tự động giữa các bình khí để đảm bảo cung cấp khí liên tục và thay thế bình khí an toàn.
4. Định nghĩa phân phối:
Kết nối nguồn khí với cuộn dây thu khí
Kích thước đường ống: Trong nhà máy sản xuất chip, kích thước của đường ống phân phối khí chính thường dao động từ 1/2 inch đến 2 inch.
Hình thức kết nối: Các đường ống dẫn khí đặc biệt thường được kết nối bằng phương pháp hàn, không có bất kỳ kết nối cơ khí hoặc bộ phận chuyển động nào khác, chủ yếu là vì mối hàn có độ tin cậy làm kín cao.
Trong một nhà máy sản xuất chip, có hàng trăm ki-lô-mét ống dẫn khí, mỗi ống dài khoảng 6 mét và được hàn nối với nhau. Một số đoạn uốn cong và mối hàn ống cũng rất phổ biến.
5. Hộp van đa chức năng (Hộp van phân phối, VMB) Định nghĩa:
Mục đích là để phân phối các loại khí đặc biệt từ nguồn khí đến các thiết bị đầu cuối khác nhau.
Kích thước đường ống bên trong: đường ống xử lý 1/4 inch và đường ống xả 1/4 - 3/8 inch. Hệ thống có thể sử dụng điều khiển bằng máy tính để yêu cầu van tự động hoặc sử dụng van điều khiển bằng tay trong các trường hợp tiết kiệm chi phí.
Sản phẩm hệ thống: van màng/van xếp có độ tinh khiết cao, van một chiều, khớp nối có độ tinh khiết cao (VCR, dạng hàn siêu nhỏ), van điều chỉnh áp suất, đồng hồ đo áp suất, v.v. Đối với việc phân phối một số khí trơ, chủ yếu sử dụng bảng van đa chức năng (VMP), có bề mặt đĩa khí hở và không yêu cầu thiết kế không gian kín cũng như không cần thổi khí nitơ bổ sung.
6. Tấm/hộp van phụ (Bảng kết nối dụng cụ) Định nghĩa:
Kết nối nguồn khí cần thiết cho thiết bị bán dẫn từ nguồn khí đến đầu thiết bị và điều chỉnh áp suất tương ứng. Bảng điều khiển này là hệ thống điều khiển khí nằm gần đầu thiết bị hơn so với hộp van đa chức năng (VMB).
Kích thước ống dẫn khí: 1/4 - 3/8 inch
Kích thước ống dẫn chất lỏng: 1/2 - 1 inch
Kích thước ống xả: 1/2 - 1 inch
Sản phẩm chính: van màng/van xếp, van một chiều, van điều áp, đồng hồ đo áp suất, khớp nối độ tinh khiết cao (VCR, hàn siêu nhỏ), khớp nối ren, van bi, ống mềm, v.v.
Thời gian đăng bài: 22/11/2024